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氣相沉積爐有哪些技術(shù)特征

時間:2022/2/16 14:10:00 來源:http://m.xiala8.com/news765344.html


氣相沉積爐是我公司多年研發(fā)生產(chǎn)的設(shè)備

,氣相沉積爐是指在高溫下的氣相反應(yīng)
,例如
,金屬鹵化物
、有機金屬、碳?xì)浠衔锏鹊臒岱纸?div id="4qifd00" class="flower right">
,氫還原或使它的混合氣體在高溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以析出金屬
、氧化物
、碳化物等無機材料的方法。這種技術(shù)較初是作為涂層的手段而開發(fā)的
,但目前
,不只應(yīng)用于耐熱物質(zhì)的涂層,而且應(yīng)用于高純度金屬的精制
、粉末合成、半導(dǎo)體薄膜等
,是一個頗具特征的技術(shù)領(lǐng)域

咸陽陶瓷研究院銷售的氣相沉積爐其技術(shù)特征在于:(1)高熔點物質(zhì)能夠在低溫下合成;(2)析出物質(zhì)的形態(tài)在單晶、多晶

、晶須
、粉末
、薄膜等多種;(3)不僅可以在基片上進(jìn)行涂層