咸陽陶瓷研究院從事氣相沉積爐研發(fā)、生產(chǎn)多年
，我公司生產(chǎn)的化學氣相沉積爐主要用于以碳氫氣體（如C3H8\CH4等）為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理
。
此款氣相沉積爐的特點：
化學氣相沉積爐采用的控制技術(shù)，能精密控制氣體的流量和壓力
，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定
，壓力波動范圍小
；
同時采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室
，密封效果好，抗污染能力強
；
采用多通道沉積氣路
，流場均勻，無沉積死角
，沉積效果好
；
對沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體
、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物能進行有效處理
；
氣相沉積爐采用防腐蝕真空機組設(shè)計，持續(xù)工作時間長
，生產(chǎn)效率高
，維修率低。
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