KY-R-LQC400-6M型CVD爐是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng)
，是高校
、研究所
、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)
、氣氛還原
、CVD實(shí)驗(yàn)
、真空退火用的理想設(shè)備。設(shè)備采用雙層殼體結(jié)構(gòu)
，并帶有分冷
，使得殼體表面的溫度小于55°C。保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能
，減少熱量的損失
。同時(shí)采用輕質(zhì)爐膛，熱效率高
，能耗低
，爐內(nèi)溫度均勻性好，可延長(zhǎng)設(shè)備的使用效率
。
KY-R-LQC400-6M型CVD爐產(chǎn)品特點(diǎn)
爐內(nèi)密封性及佳
，可通入氮?dú)狻⒁胰?div id="jpandex" class="focus-wrap mb20 cf">、甲烷
、丙酮等混合氣體。
組合進(jìn)料方式
，進(jìn)料量精準(zhǔn)控制。
配置電子流量計(jì)、蠕動(dòng)泵;爐內(nèi)溫度
、壓力、流量自動(dòng)控制。輕質(zhì)爐膛
，熱效率高，能耗低，爐內(nèi)溫度均勻性好。PLC全自動(dòng)控制整套工藝過(guò)程
，通過(guò)觸摸屏操作簡(jiǎn)潔直觀。運(yùn)行平穩(wěn)， 宜維護(hù)
，設(shè)備大小可根據(jù)需求非標(biāo)定制。KY-R-LQC系列連續(xù)式CVD爐技術(shù)參數(shù)
KY-R-LQC系列間歇式CVD爐技術(shù)參數(shù)
- 上一個(gè)：CVD氣相沉積爐
- 下一個(gè)：KY-R-SL(Q)實(shí)驗(yàn)室用連續(xù)式回轉(zhuǎn)爐
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