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氣相沉積爐有什么作用？

時(shí)間：2025/7/17 10:14:00 來(lái)源：http://m.xiala8.com/news1077109.html


氣相沉積技術(shù)是一種發(fā)展迅速、應(yīng)用廣泛的表面成膜技術(shù)，它不僅可以用來(lái)制備各種特殊力學(xué)性能(如超硬

、高耐蝕、耐熱和抗氧化等)的薄膜涂層
，而且還可以用來(lái)制備各種功能薄膜材料利裝飾薄膜涂層等
。

氣相沉積爐的作用是在高溫下氣相反應(yīng)，例如

，金屬鹵化物
、有機(jī)金屬、碳?xì)浠衔锏鹊臒岱纸?div id="4qifd00" class="flower right">
，氫還原或使它的混合氣體在高溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以析出金屬
、氧化物、碳化物等無(wú)機(jī)材料的方法
。這種技術(shù)較初是作為涂層的手段而開(kāi)發(fā)的
，但目前，不只應(yīng)用于耐熱物質(zhì)的涂層