。加熱和供應(yīng)沉積氣體的工藝順序自動化進行。在等熱過程中，預(yù)制件保持這一均勻溫度30~40天，直到獲得預(yù)期的復(fù)合材料密度和孔隙率。

氣相沉積爐系雙壁設(shè)計

，可以在運行期間用水冷卻。電力電纜較粗，也可用水冷卻。實際的蒸餾器位于高溫爐內(nèi)部，而且通過石墨感應(yīng)或電阻加熱器加熱到2200~2900°C。

因為設(shè)備尺寸和重量均較大，所以每個部件均采用托盤和板條箱包裝

。大型蓋子、電源和爐體通常已內(nèi)置有起吊點或環(huán)，以方便設(shè)備的搬動和組裝。

氣相沉積爐用于將碳注入到火箭噴管或再入飛行器(RV)鼻錐的多孔碳預(yù)制件中

。這種稱為致密化的工藝有效消除了預(yù)制件中的空隙，從而增加被處理物體的機械和物理特性。碳碳復(fù)合材料的最終特性在很大程度上取決于預(yù)制件中碳纖維的類型和方向以及致密化使用的工藝參數(shù)。

氣相沉積)爐用于制造碳-碳火箭噴管和鼻錐

。碳-碳制件重量輕、強度大，可以提升系統(tǒng)性能。還可用于為光學器件涂覆涂層；為航空航天制動系統(tǒng)摩擦材料和切削刀具致密;精密表面增加涂層和拋光;以及半導(dǎo)體生產(chǎn)。