氣相沉積爐設(shè)備室是立式結(jié)構(gòu)
，氣相沉積爐爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動(dòng)升降
。雙層爐殼結(jié)構(gòu)，內(nèi)層不銹鋼
，外層為碳鋼
，中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體
，石墨碳?xì)直貙颖匦Ч?div id="jfovm50" class="index-wrap">。控制方式為PLC加觸摸屏方式
，有手動(dòng)及自動(dòng)控制切換
。自動(dòng)化程度高，操作方便。主要電器元件采用知名品牌
，性能穩(wěn)定、可靠
。配備出
、裝料料車，方便操作及出裝料
，提高工作效率
。
氣相沉積爐反應(yīng)室的壓力、氣體的流動(dòng)速率
、晶片的溫度等反應(yīng)中間起的作用都是沉積參數(shù)的變化范圍
，所以考慮到沉積薄膜中的變數(shù)、以及沉積速率決定著反應(yīng)室的產(chǎn)出量
，反應(yīng)生成的膜不僅會(huì)沉積在晶片上
，也會(huì)沉積在反應(yīng)室的其他部件上，所以對(duì)反應(yīng)室進(jìn)行徹底清洗的程度也是重要
。
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