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關(guān)于氣相沉積爐的應(yīng)用

時(shí)間：2021/8/16 17:23:00 來源：http://m.xiala8.com/news666112.html

隨著科技的發(fā)展傳統(tǒng)的難熔金屬制備方式成本較高，氣相沉積爐如果將氣體引入到室內(nèi)，室內(nèi)的襯底表面就會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)

，對化學(xué)相沉積爐有了全新的要求
，氣相沉積爐技術(shù)在鋰電子電池材料也可以應(yīng)用
，借助氣相沉積爐本身易重現(xiàn)和覆蓋性等特點(diǎn)
，以下是有關(guān)氣相沉積爐的使用：

1、為氣相沉積爐主體內(nèi)有加熱室

，水冷電極，測溫?zé)犭娕?div id="d48novz" class="flower left">
，是處理工件的核心部分?/p>

2

、為混氣罐，由1只電動蝶閥
、2只浮子流量計(jì)和4只不銹鋼手動截止閥組成
，負(fù)責(zé)氬氣和丙烷的混氣配比
，以及向沉積爐內(nèi)定量輸送工作氣體。

3

、2臺滑閥泵負(fù)責(zé)爐內(nèi)空氣及工作廢氣的排除
，使?fàn)t子工作在恒定的壓力范圍之內(nèi)
。

4、過濾罐2臺負(fù)責(zé)滑閥泵前級的粉塵排除

。

5

、真空電動蝶閥2臺在滑閥泵工作過程中，通過調(diào)節(jié)閥的開度
，從而可以調(diào)節(jié)泵的抽速