一、設(shè)備用途：
化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制備
。
二
、氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)：
1 立式結(jié)構(gòu)，氣相沉積爐爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動(dòng)升降
。
2 雙層爐殼結(jié)構(gòu)
，內(nèi)層不銹鋼，外層為碳鋼
，中間通水冷卻
。石墨碳棒加熱體，石墨碳?xì)直貙颖匦Ч谩?/p>
3 控制方式為PLC加觸摸屏方式
，有手動(dòng)及自動(dòng)控制切換
。自動(dòng)化程度高，操作方便
。
4 主要電器元件采用知名品牌
，性能穩(wěn)定、可靠
。
5 配備出
、裝料料車，方便操作及出裝料
，提高工作效率
。
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