氣相沉積爐的作用是在高溫下氣相反應
，例如，金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解，氫還原或使它的混合氣體在高溫下發(fā)生化學反應以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。這種技術較初是作為涂層的手段而開發(fā)的，但目前，不只應用于耐熱物質的涂層 ，而且應用于高純度金屬的精制
、粉末合成、半導體薄膜等
，是一個頗具特征的技術領域
。
氣相沉積爐其技術特征在于：(1)高熔點物質能夠在低溫下合成;(2)析出物質的形態(tài)在單晶
、多晶
、晶須、粉末
、薄膜等多種;(3)不僅可以在基片上進行涂層
，而且可以在粉體表面涂層等。特別是在低溫下可以合成高熔點物質
，在節(jié)能方面做出了貢獻
，作為一種新技術是大有前途的
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